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半导体芯片厂超纯水

文件大小: 格式: 发布时间:2008-12-15 浏览次数:
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【中文关键词】 半导体芯片厂  超纯水  案例  
【摘要】 本文介绍了半导体芯片厂超纯水的案例。
【部分正文预览】

半导体芯片厂超纯水

 TOC<10ppb

 颗粒度(PARTICLE)达0.5um≤200PCS/L

 二氧化硅SiO2<5ppb

 电阻率≥18MΩ.cm(25℃)

 采用高纯度PVDF管路

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