反渗透—离子交换法制高纯水
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发布时间：2011-01-26
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| 【中文关键词】 | 两种方法 高纯水 反渗透技术 离子交换法 半导体 电渗析 生物微粒 电阻率 |
| 【摘要】 | 目前我国大多数半导体厂都沿用40年代的离子交换法制纯水,有一些工厂采用了电渗析—离子交換法制高纯水,但这两种方法都无法除去水中中性微粒及微生物微粒,即使水的电阻率很高,而留在水中的这些微粒仍然沾污半导体,使器件质量下降。 |
| 【部分正文预览】 | 目前我国大多数半导体厂都沿用40年代的离子交换法制纯水,有一些工厂采用了电渗析—离子交換法制高纯水,但这两种方法都无法除去水中中性微粒及微生物微粒,即使水的电阻率很高,而留在水中的这些微粒仍然沾污半导体,使器件质量下降。60年代初反渗透技术问世,而70年代初美国95％以上的半导体厂都采用反渗透—离子交换法制高纯水。这种方法能把5微米以上的中性微粒全部除去,把95％ |
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