ActifloR工艺技术应用于硅片研磨废水处理
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发布时间：2013-11-25
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| 【中文关键词】 | 研磨废水 ActifloR 压载絮凝 |
| 【摘要】 | 考虑到硅片研磨废水浊度高、悬浮固体粒径小及难于沉淀的水质特点，并依据处理水量的增加和后期回用的要求，采用ActifloR微砂压载絮凝工艺对现有的混凝沉淀处理装置进行升级改造。 |
| 【部分正文预览】 | 在硅片的切割研磨生产过程中，会产生大量的高浊度废水，这种废水浊度非常高、颗粒细小、在水中稳定、极难沉淀。不过由于有机物及其他污染物含量少，该种废水可以成为很好的回用水水源。 目前常用的处理工艺有传统混凝沉淀和超滤膜过滤[1-4]。但是，传统混凝沉淀工艺药剂投加量大，沉淀面积要求大，处理效果不佳。超滤膜过滤工艺存在很多问题，如膜容易堵塞、反洗频率高、水的回收率小、超滤膜的更换成本昂贵。 苏州工业园区某半导体企业产生的废水主要来源于硅片切割研磨生产线。该股研磨废水平均流量约35 m3 ／ h，CODCr 一般不大于15 mg ／ L，平均浊度约2 000 NTU，最高可达3 000 NTU 以上。该企业先后采用传统混凝沉淀和超滤膜过滤工艺进行研磨废水的处理，但没能得到良好的处理效果。随着企业产能的增加以及工业园区对水回用的要求，Actiflo○R微砂压载絮凝工艺被应用于原研磨废水处理设施的升级改造。 |
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