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高纯水与紫外线杀菌技术

文件大小：0.32MB格式：pdf发布时间：2008-12-29浏览次数：次
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【文献出处】中国电子工程设计院
【中文关键词】电子工厂  高纯水  紫外线杀菌技术  
【摘要】紫外线杀菌装置在电子工业高纯水制造工艺中得到广泛应用。本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面进行了讨论,并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置。
【部分正文预览】

       紫外线杀菌装置在电子工业高纯水制造工艺中得到广泛应用。本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面进行了讨论,并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置。

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