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电子级超纯水精制混床离子交换树脂生产工艺分析

文件大小:0.11MB格式:pdf发布时间:2010-01-07浏览次数:
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【中文关键词】电子级超纯水  精制混床离子交换树脂  
【摘要】对电子工业中制备超纯水的精制混床离子交换树脂的生产工艺进行了分析与探讨, 提供了一些思考。
【部分正文预览】

超纯水的制造工艺一般包括预处理、脱盐、后处理三道工序[8]。工艺中后处理工序是关键部分, 而其中的“精制混床”( 抛光混床) 装置起了关键作用。精制混床的主体核心是“一次性”使用的混合型离子交换树脂( 以下简称“精制混床树脂”) , 其主要作用是精脱盐及脱除经UV 紫外线分解有机物的产物( 降低TOC) [9] , 其对产水水质达标具有决定性的意义。

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