²  处理效果好，COD去除率高达50%～80%。

²  运行成本低，臭氧投加量与去除COD总量的比值为1～2（视不同污染因子而定），大幅降低了臭氧投加量。以绍兴水处理发展有限公司印染废水深度处理为例，将其印染废水二沉池出水COD由150mg/L去除至60mg/L，其运行成本约为1.5元/吨水。

²  反应速度快，大幅降低了反应器的体积。反应过程有大量的羟基自由基产生，其与大多数有机物反应的速率常数在10⁸M^-1·S^-1－－10¹⁰M^-1·S^-1。

²  尾气内部自行处理不会产生二次污染，污泥产量极低。金属离子溶出微量，不影响处理水质，易于操作管理，同时不需要引入其它能量，减少了工程造价。同时污泥产量极低。

²  可提高废水的可生化性。有效破坏不饱和结构，显著提高废水可生化性。

²  应用范围广，几乎所有的污水都可以采用。

²  100%有效成分，使用寿命长。

²  对如苯胺、硝基苯、邻苯二甲酸类等含有苯环、胺基、偶氮等基团的有毒有机污染物,以及难以生物降解的物质处理效果明显。