反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进 |
文件大小：166.45KB格式：rar发布时间：2012-07-01浏览次数：次
| 【文献出处】 | 原创 |
| 【中文关键词】 | 反渗透 纯水工艺 |
| 【摘要】 | 在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透＋N,配合真空膜脱气一三级混床的工艺属当今最新开发的工艺，在大型系统中应用很少，我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进，最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行，解决了工艺流程中的缺陷和不足，并且很好的控制了运行成本。 |
| 【部分正文预览】 | 在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透＋N,配合真空膜脱气一三级混床的工艺属当今最新开发的工艺，在大型系统中应用很少，我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进，最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行，解决了工艺流程中的缺陷和不足，并且很好的控制了运行成本。 |
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